セミナー スパッタリング スパッタ 薄膜 反応性スパッタ 密着性 成膜

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セミナー スパッタリング スパッタ 薄膜 反応性スパッタ 密着性 成膜

★基礎からパルス電源やマグネトロン・カソード技術、高速・低ダメージの成膜手法、品質向上やトラブル対策、最新トピックスまで。
★次世代センサーや医療材料など、更に応用拡がるスパッタリングを徹底解説!
★経験豊富な講師と双方向的なやり取りも可能!出来るだけ丁寧でわかりやすい解説を目指します。

スパッタリングの基礎から

良くあるトラブル対策・品質向上策、最新トピックス

【15名様限定】

講師

有限会社アーステック 代表取締役 兼 名古屋大学 客員教授 小島 啓安 先生

* 希望者は講師との名刺交換が可能です

講師紹介

■ご略歴:
 キヤノン株式会社にて、半導体露光装置の光学膜開発を5年ほど従事、その後旭硝子株式会社にて、自動車用、建築用、電子基板用のスパッタによる薄膜開発を行う。2003年に有限会社アーステック設立し、薄膜コンサルタントを開始。2012年に名古屋大学にて学位取得、同年より名古屋大学客員教授を務める。2013年には中国科学院上海セラミックス研究所の兼任教授(3年間)となる。

■ご専門および得意な分野・研究:
 真空薄膜、スパッタリング&プラズマプロセス開発、バリア膜、光学薄膜、透明導電膜、光触媒膜、熱線反射膜などのソーラーコントロール膜、硬質膜など

■本テーマ関連学協会でのご活動:
 真空学会:スパッタ&プラズマプロセス部会
 表面技術協会:編集委員
 光学薄膜研究会、CVD研究会、など

→このセミナーを知人に紹介する

日時・会場・受講料

●日時 2018年6月8日(金) 10:30-16:30
●会場 [東京・大井町]きゅりあん4階 研修室 →「セミナー会場へのアクセス」
●受講料 1名46,440円(税込(消費税8%)、資料・昼食付)
 *1社2名以上同時申込の場合、1名につき35,640円
      *学校法人割引;学生、教員のご参加は受講料50%割引。→「セミナー申込要領・手順」を確認下さい。

 ●録音・撮影行為は固くお断り致します。
 ●講義中の携帯電話の使用はご遠慮下さい。
 ●講義中のパソコン使用は、講義の支障や他の方の迷惑となる場合がありますので、極力お控え下さい。
  場合により、使用をお断りすることがございますので、予めご了承下さい。
  *PC実習講座を除きます。


■ セミナーお申込手順からセミナー当日の主な流れ →

セミナー開催にあたって

■はじめに:
 スパッタリングは、再現性がよく、大面積にも均一に成膜でき、低温においても密着性良く、成膜プロセスとして大きな広がりを見せている技術です。この理由としては、化合物膜の高速成膜によるコストダウンとプラスチック基板を用いた軽くて薄いフレキシブル基板への成膜が容易にできることです。また近年、車の自動運転用センサー保護膜、医療用生体親和性の硬質膜、GaN結晶膜など新しい用途や新材料が次々に開発されています。次世代の薄膜技術としてのスパッタリングプロセスの重要性も解説します。また、セミナー参加者の生産上のトラブルなど困りごとがありましたら、出来るだけ丁寧に解説します。

■受講対象者:
 スパッタリングを経験した人、バリア膜、透明導電膜、光学薄膜などの開発者、またこれらに興味のある方

■必要な予備知識:
 高校卒業レベルの、化学、物理の知識
 真空に関わる基礎知識

■本セミナーで習得できること(一例):
 ・スパッタリングに関する基礎知識
 ・反応性スパッタ
 ・高速成膜の基礎及び制御方法
 ・ロータリーカソードの構造、原理、低ダメージの原理
 ・スパッタリング成膜でのトラブル対処

セミナー内容

1.スパッタリングの特徴
 1)表面処理と成膜法
 2)蒸着膜とスパッタ膜の違い
 3)スパッタリングの原理
 4)ロールコーターとインラインコーター

2.パルス電源
 1)アーキングの原理
 2)パルスの種類
 3)パルスと膜構造
 4)HIPIMS電源

3.マグネトロン技術
 1)アンバランスドマグネトロン
 2)磁力線分布
 3)対称磁場と非対称磁場

4.カソード技術
 1)ロータリーカソード
 2)デュアルカソード
 3)AC放電
 4)磁場リンク
 5)低ダメージカソード

5.高速成膜技術
 1)反応性スパッタ
 2)ヒステリシス曲線
 3)遷移領域制御
 4)プラズマエミッション制御
 5)インピーダンス制御

6.スパッタリング膜の品質向上策・トラブルシューティング
 1)パーティクルの発生原因と対策
 2)内部応力のメカニズムと低減策
 3)密着性を向上させ剥がれにくい膜を作るには?
 4)均一な膜を作るための制御手法

7.応用商品
 1)透明導電膜
 2)バリア膜(量子ドット液晶など)
 3)ソーラーコントロール膜(集熱、省エネなど)
 4)光学膜
 5)トピックス

8.質問
 著書「現場のスパッタリング薄膜Q&A」の質問などありましたら解説します。

<質疑応答・個別質問・講師と名刺交換>

■ご講演中のキーワード:
 反応性スパッタリング、パルス電源、アーキング、ロータリーカソード、アクティブアノード、ロールtoロール、遷移領域制御、高速成膜

セミナー番号:AC180607

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